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2、真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動小。
主要性能要求：
如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

　　(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
　　(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

測量方式分類：

　　
　　1、熱偶真空計
　　利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
　　　2、電離真空計（又收熱陰極電離計）
　　由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
　　　3、復合真空計
　　由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。
　　　4、冷陰極電離計
　　陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
　　　5、電阻真空計
　　利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
　　　6、麥克勞真空計（壓縮式真空計）
　　將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。
　　　7、B－A規(guī)電容薄膜真空計
　　這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。電容薄膜真空計將三種不同的規(guī)管綜合在個小型經(jīng)濟的規(guī)管中，測量過程壓強和基本壓強從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計由于具有測量精度高、動態(tài)響應快、測量結(jié)果與氣體成分無關以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點，因而越來越受到人們的重視。以它取代水銀壓力計、油壓計、電阻真空計、熱偶真空計以至部分地取代電離計。

真空泵名稱解釋

　　1、水環(huán)真空泵
　　泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。
　　2、往復真空泵
　　利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。
　　3、油封機械真空泵
　　用油來保持密封的機械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。
　　4、羅茨真空泵
　　具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。
　　5、渦輪分子真空泵
　　有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時就被驅(qū)向出氣口再由前級泵抽除。
　　6、油擴散真空泵
　　擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮后再由前級泵排除。
　　7、低溫真空泵
　　利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。

旋片式真空泵的工作原理說明

　　如圖為旋片泵的工作原理示意圖，旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結(jié)構(gòu)是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子（轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常?。┖娃D(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片，當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，始終沿定子的內(nèi)壁滑動。
　　兩個旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分，當轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強不斷的降低，當A空間內(nèi)的壓強低于被抽容器內(nèi)的壓強，根據(jù)氣體壓強平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進吸氣腔A，此時正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進一步地減小，C空間的壓強進一步的升高，當氣體的壓強大于排氣壓強時，被壓縮的氣體推開排氣閥，被抽的氣體不斷地穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中，在泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中，不斷地進行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達到連續(xù)抽氣的目的。
　　排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運動的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時油還充滿了一切有害空間，以消除它們對極限真空的影響。
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　　旋片泵工作原理圖
　　1-泵體;2-旋片;3-轉(zhuǎn)子; 4-彈簧;5-排氣閥
　　雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室是低真空級，Ⅱ室是高真空級，被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室，當進入的氣體壓力較高時，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮，壓強急速增大，被壓縮的氣體不僅從高級排氣閥排出，而且經(jīng)過中壁通道，進入Ⅰ室，在Ⅰ室被壓縮，從低級排氣閥排出；當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮，也推不開高級排氣閥排出，氣體全部經(jīng)中壁通道進入Ⅰ室，經(jīng)Ⅰ室的繼續(xù)壓縮，由低級排氣閥排出，因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。
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　　雙級旋片式真空泵工作原理圖
　　1-高級排氣閥;2-通道;3-低級排氣閥
　　真空泵在真空系統(tǒng)中所起的作用 由于各種真空泵的性能除均能滿足對容器進行抽真空的共同點之外，尚具有不同之處。因此在選用時必須明確泵在真空系統(tǒng)中所承擔的工作任務是十分重要的，泵在各種不同工作領域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個方面：　1、主泵　所謂主泵就是對真空系統(tǒng)被抽容器直接進行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。　2、粗抽泵　粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強達到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵?！?、前級泵　前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強維持在其最高許可的前級壓強以下的真空泵?！?、維持泵　維持泵是指當真空系統(tǒng)抽氣很小時，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵?！?、粗真空泵或低真空泵　粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強后工作在低真空或粗真空壓強范圍內(nèi)的真空泵?！?、高真空泵　高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵?！?、超高真空泵　超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。　8、增壓泵　增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強范圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。

真空泵性能參數(shù)

　　　真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）
　　活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
　　旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
　　水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
　　羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
　　渦輪分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3
　　水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
　　油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
　　油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
　　分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
　　濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
　　鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
　　鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
　　低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1